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応力分布のラマンイメージング
ひずみ・応力評価
Au誘起結晶成長のその場観察
PL(フォトルミネッセンス)分析
粒界のラマン観察
多結晶Si薄膜の結晶性評価
シリコンカーバイドの応力評価
全面の結晶多形ラマンイメージング